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常圧プラズマ(大気圧プラズマ)の用途

常圧プラズマの用途

APsolution

常圧プラズマ技術が、IT分野製造工程に新しいソリューションを提案します。

FPD工程

常圧プラズマシステムは、多くのFPD 製造工程で利用されています。次期G10 世代にも対応可能です。

 

FPD 形成前の洗浄 成膜前の洗浄・成膜後のエッチング 形成前の洗浄 塗布前の洗浄・塗布後のエッチング 成膜前の洗浄・表面改質 塗布前の洗浄・表面改質 張り合わせ前の洗浄・表面改質 形成前の洗浄・表面改質 成膜前の洗浄・表面改質 形成前の洗浄・表面改質 色形成前の洗浄・表面改質 形成前の洗浄・表面改質 形成前の洗浄・スカム除去

 

OLED工程

次世代ディスプレイ、照明としても注目されている有機EL。
常圧プラズマシステムは、各製造工程にお応えします。

 

OLED

 

フィルム工程

各種フィルム製造工程で常圧プラズマ装置はロールto ロールで幅広にも対応可能です。

 

film

 

その他工程

半導体実装などの分野についても、常圧プラズマシステムは各製造工程にお応えします。

  項目 概要 処理イメージ タイプ
1

端子清掃

液晶の最終組立工程

COG、TAB、COF貼り付け前の洗浄

ACFを介しての接着性向上

端子清掃の処理イメージ

リモート

2

液晶CFライン
(STN)

洗浄前後の工程
RGB塗工前、PR塗布前

液晶CFラインの処理イメージ

リモート/
ダイレクト

3

FPC関連
(PI原反及びCCL)

FPCの素材銅箔-ポリイミドの製造工程

前処理幅250~1100mmの連続処理

FPCの部分的強度を増加

PI接着濡れ性向上、接着性向上

FPC関連の処理イメージ

リモート/
ダイレクト

4

光学フイルム

各種光学フイルムの
表面改質処理(粘着塗工前処理)

光学フイルムの処理イメージ

ダイレクト

5

リジット基板

めっき前洗浄
カバーレイ接着

リジット基板の処理イメージ

リモート

6

ゴム系材料の
接着・塗工

難接着材料

シリコン系、フッ素系、オレフィン系

接着、塗工前処理

ゴム系材料の処理イメージ

リモート/
ダイレクト

7

COF洗浄

ドライブIC搭載機への搭載
端子洗浄、アンダーフィル濡れ性

COF洗浄の処理イメージ

リモート

8

塗工前処理

濡れ性向上

塗工前処理の処理イメージ

リモート/
ダイレクト

9

常温金-金接合

接合前処理(有機物除去)
現在約250℃での接合を
150℃以下にすることが重要

常温金一金接合の処理イメージ

リモート/
ダイレクト

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■積水化学のプラズマ表面改質の特徴は?
積水化学のプラズマ表面改質は対象基材の濡れ性向上、接着向上、接合強度向上、印刷・塗工性向上を実現し、IT分野製造工程に新しいソリューションを提案します。
積水化学のプラズマ表面改質には、
・真空を必要としない常圧プロセスのため、連続処理が可能でインライン化も容易
・ガスを選ばず、常圧プラズマを発生させることが可能
・2種類の常圧プラズマ発生方式により、様々な基材の表面改質が可能
・リモート方式プラズマを採用することにより、基材へダメージを与えずに表面改質が可能
といった特徴があります。
FPD工程、OLED工程、フィルム工程のみならずその他工程にもプラズマシステムはお応えします。
■積水化学工業のP2事業推進部とは?
世界No.1 シェアを持つ導電性微粒子や、液晶用シール材をはじめ、タッチパネル向けITO フィルム、感光性材料、半導体材料などの先進素材でIT の進歩をリードしているエレクトロニクス部門の一部として、独自の表面改質技術を活かした半導体・LCD 用のフラットパネルディスプレイ製造装置を開発・提供しています。
常圧プラズマによる表面改質を中心に、他事業部とのケミストリーを発揮しながら、電子材料の分野でソリューションをご提供します。
  
積水化学工業株式会社 P2事業推進部
〒601-8105 京都市南区上鳥羽上調子町2-2(京都研究所内)
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