プラズマは物質の第4状態と呼ばれ、気体を構成する原子、分子が供給された熱や電力を吸収することで生成したイオンやラジカルを含む状態のことを指します。
ラジカルとはエネルギーを吸収した原子、分子中の電子がより高いエネルギー準位に遷移(励起といいます)した状態あるいは粒子を指し、その不安定性から寿命通常ナノ秒程度と非常に短く、そのため周囲の物質との間に高い反応性を示します。
イオンは、電子がさらに高いエネルギーを得て原子核の束縛を離れ、電離した状態で、同様に高い反応性を持ちます。プラズマが発光するのは、これらラジカルやイオンが失活する際に放出する可視域を含んだ電磁波の放射によるもので、物質及びその遷移準位のエネルギー差によって特徴付けられた特定の波長を持ちます。そのためプラズマ化するガスの種類によって異なる色合いの光が観察されます。
実は、自然界にはありふれた現象であり、宇宙空間の99.9%はプラズマ状態です。実際に目にすることができるプラズマ現象としては、太陽(コロナ),雷,オーロラなどがあります。
プラズマは、上述のように自然界において真空中で生じるものと、大気圧下で生じるものとの二つに分類されます。大気圧プラズマは文字通り105Paの大気圧下で発生したプラズマであり、この特徴により、
・地球上でわざわざ真空環境を作り出す必要性がない
・水中放電や生体への照射が可能
という点で、単純にコストだけでなく、アプリケーションの観点からも大きくその技術的な利用価値が異なります。
プラズマには高温を発するもの(熱平衡プラズマ)と低温で運用が可能なもの(非平衡プラズマ)の二種類があり、
それぞれ下記のような産業でプラズマ技術が活用・応用されています。
・熱平衡プラズマ・・・
プラズマを含むガスは数千度の高温に達する場合もあります。
熱平衡プラズマは、主に有害物質の焼却処分、溶接、核融合等で利用されています。
・非平衡プラズマ・・・
プラズマを含むガスは常温~数百℃程度で、基材に熱ダメージを与えにくい為、
半導体やフィルム、他様々な生産ラインにおける表面処理・表面改質に活用されています。
また、熱が加わらない為生体への使用も可能であり、近年は医療・美容分野での
活用に向けた研究も盛んに行われております。