特徴・装置仕様
1高いプロセス処理能力
2.45GHzの超高密度プラズマで高速処理が可能

2低いランニングコスト
クリーンドライエアー (CDA)での処理も可能
高速立上り㱺スイッチOn後1秒未満でプラズマが安定

3コンパクト設計、軽い用力
電源、制御、ガスユニットを一体化
どこでも設置可能な簡単な用力㱺電源とCDA

4局所的処理可能
ピンポイントでプラズマ照射が可能

処理幅

~10mm

Utility

電源、ガス(Air)、排気

用途
分 野 使用目的
LCD LCD端子清掃(ACFとの密着性向上)
自動車 エンジン部品などの油分を除去して、組み立て時の密着性を向上
その他 電子部品封止前洗浄
処理データ

LCD 端子部の接触角データ

金属板貼り合わせ強度改
善ピール強度測定データ

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