特徴・装置仕様
1高いプロセス処理能力
2.45GHzの超高密度プラズマで高速処理が可能
2低いランニングコスト
クリーンドライエアー (CDA)での処理も可能
高速立上り㱺スイッチOn後1秒未満でプラズマが安定
高速立上り㱺スイッチOn後1秒未満でプラズマが安定
3コンパクト設計、軽い用力
電源、制御、ガスユニットを一体化
どこでも設置可能な簡単な用力㱺電源とCDA
どこでも設置可能な簡単な用力㱺電源とCDA
4局所的処理可能
ピンポイントでプラズマ照射が可能
処理幅
~10mm
Utility
電源、ガス(Air)、排気
用途
| 分 野 | 使用目的 |
|---|---|
| LCD | LCD端子清掃(ACFとの密着性向上) |
| 自動車 | エンジン部品などの油分を除去して、組み立て時の密着性を向上 |
| その他 | 電子部品封止前洗浄 |
処理データ
LCD 端子部の接触角データ
金属板貼り合わせ強度改
善ピール強度測定データ
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