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特点・装置仕様
1高超的工序处理能力
2.45GHz的超高密度等离子体、支持高速处理
2更低的运行成本
支持使用压缩干燥空气(CDA)的处理
高速启动⇒开关On后1秒内稳定等离子体
高速启动⇒开关On后1秒内稳定等离子体
3设计紧凑、所用能源简单
将电源、控制、气体单元一体化
随处可安装的简单能源⇒电源与CDA
随处可安装的简单能源⇒电源与CDA
4支持局部处理
能够实现精准的焦点式等离子体照射
处理宽度
~10mm
实用
电源、气体(Air)、排气
用途
| 领 域 | 使用目的 |
|---|---|
| LCD | LCD端子清洁（提高与ACF的密着性） |
| 汽车 | 清除发动机零部件等的油分、提高组装时的密着性 |
| 其他 | 电子零部件封装前清洁洗浄 |
处理数据
LCD端子部的接触角数据
金属板贴合强度改善
剥离强度测量数据
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