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特点・装置仕様
1无损伤
借助低温处理＆电场屏蔽结构，避免热能及电气损伤
2高超的处理性能
在高速(10m/min)处理中、达到10°以下
（ LCD用玻璃基板的处理）
（ LCD用玻璃基板的处理）
3对应各种产品的式样
1支持160 ～ 3400mm幅面
4拥有大量实绩
被用于以LCD工厂为代表的众多生产工序
支持宽度
160~3400mm
实用
电源、处理气体(N2、CDA)、排气、冷却水
用途
| 领 域 | 使用目的 |
|---|---|
| LCD | 玻璃表面的润湿性改善、湿润清洁效果的优化 |
| 触控面板、OLED等 | 导电薄膜的表面改质、贴合预处理 |
基本处理性能
玻璃基板的接触角数据 ( 搬运速度依存性 )
【使用基板】 Bare Glass
大气压等离子体
EUV
搬运速度与基板温度变化的关系
【使用基板】 Bare Glass
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