スポット型プラズマ装置「APーT」は、2.45GHzの超高密度プラズマのピンポイント照射が可能なリモートプラズマ装置です。基材に熱が加わらない為、電気的ダメージや熱に弱い基盤の表面処理、表面改質に最適です。局所に高密度のプラズマ照射するため、細い接着面で高い接着性能を求められる自動車エンジンの表面洗浄・親水化処理にもお使いいただけます。
CDA(圧縮空気)や窒素、酸素でのプラズマ生成が可能な点も特長であり、従来必要であった高価な希ガスを必要とせず、ランニングコストを抑えての運用が可能です。
特徴・装置仕様
1高いプロセス処理能力
2.45GHzの超高密度プラズマで高速処理が可能
2低いランニングコスト
クリーンドライエアー (CDA)での処理も可能
高速立上り㱺スイッチOn後1秒未満でプラズマが安定
高速立上り㱺スイッチOn後1秒未満でプラズマが安定
3コンパクト設計、軽い用力
電源、制御、ガスユニットを一体化
どこでも設置可能な簡単な用力㱺電源とCDA
どこでも設置可能な簡単な用力㱺電源とCDA
4局所的処理可能
ピンポイントでプラズマ照射が可能
処理幅
~10mm
Utility
電源、ガス(Air)、排気
用途
| 分 野 | 使用目的 |
|---|---|
| LCD | LCD端子清掃(ACFとの密着性向上) |
| 自動車 | エンジン部品などの油分を除去して、組み立て時の密着性を向上 |
| その他 | 電子部品封止前洗浄 |
処理データ
LCD 端子部の接触角データ
金属板貼り合わせ強度改
善ピール強度測定データ
SPOT型大気圧プラズマ装置 導入事例
| 用途 | 詳細 | イメージ |
|---|---|---|
| 端子清掃 |
スマートフォン向け小型ディスプレイの FPC端子接着前処理 （FPC接着時間短縮・密着力強化） |
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| 金属切削油除去 |
自動車エンジンのオイルパンシール部のFIPG （液体ガスケット）塗布前の表面油分除去。 （FIPGの密着力強化） |
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| 電装品濡れ性向上 |
電装品のモールド樹脂塗布前処理 （ブリードアウトの防止） |
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