特徴・装置仕様
1ダメージレス
低温処理＆電界遮蔽構造で、熱及び電気ダメージ無し
2高い処理性能
高速（10m/min)処理で10°以下を達成
（LCD向けガラス基板の処理）
（LCD向けガラス基板の処理）
3豊富なラインナップ
160 ～ 3400mm巾まで対応
4実績多数
LCD工場を始め数多くの生産工程で採用
対応幅
160~3400mm
Utility
電源、処理ガス(N2、CDA)、排気、冷却水
用途
| 分 野 | 使用目的 |
|---|---|
| LCD | ガラス表面の濡れ性改善、wet洗浄効果の向上 |
| タッチパネル、OLEDなど | 導電フイルムの表面改質、貼り合わせ前処理 |
基本処理性能
ガラス基板の接触角データ ( 搬送速度依存性 )
【使用基板】 Bare Glass
大気圧プラズマ
EUV
搬送速度と基板温度変化の関係
【使用基板】 Bare Glass
リモート型大気圧プラズマ装置 設置イメージ
製品情報
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| ヘッドタイプ | RT302 | RT222 | RT194 | RT150 | RT110 | RT096 | RT076 | RT064 | RT055 | RT036 | RT026 | RT016 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| プラズマ処理幅(mm) | 3020 | 2220 | 1940 | 1500 | 1100 | 960 | 760 | 640 | 550 | 360 | 260 | 160 |
| 適用世代(Generation) | G10 | G8 | G7 | G6 | G5 | G4 G6H | G4 | G3.5 | G3 | G2 |
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