展開例

ガラス基板表面を洗浄し、次工程の塗工性能やwet洗浄の効率を改善します

LCD 工程図

: プラズマ装置適応工程

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LCD 工程図1
LCD 工程図2
LCD 工程図3

プラズマ洗浄の原理

  • ①プラズマを発生させると同時に大量の活性酸素が生成される。
  • ②汚れ成分を二酸化炭素等にガス化して系外へ排出⇒表面洗浄
  • ③同時に表面に水酸基を導入し親水化(極性化)⇒密着性を向上

適応装置

大気圧リモートプラズマ装置 イメージ

大気圧リモートプラズマ装置

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