展開例

大気圧プラズマにより有機汚染物を水や二酸化炭素に分解します(プラズマ洗浄)。
ガラス基板表面をプラズマ洗浄する事で、次工程の塗工性能やwet洗浄の効率を改善します。
大気圧での処理のため、既存の製造工程へのインライン化が容易です。

LCD 工程図

: プラズマ装置適応工程

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LCD 工程図1
LCD 工程図2
LCD 工程図3

プラズマ洗浄とは

大気圧プラズマによる表面処理では、有機物の分解・除去を行う事ができます。同時に、酸素を含む官能基を形成させる表面改質も行います。また、多様なガスに対応しており、親水だけでなく撥水処理も可能です。

高密度のプラズマを照射する事で、ウエット洗浄で除去しきれない、切削油・離型剤などの微量の油分を分解・除去し工業製品の製造品質を安定させるために利用することができます。

この様な大気圧プラズマを基材表面に行う事により、接着強度が大幅に向上します。

プラズマ 表面洗浄、有機物除去

熱に弱い樹脂材料やフィルムなどの薄膜表面にもダメージを与えることがなく表面改質をすることができ、難接着材料や異種材料の接着・接合分野や塗装・コーティング前処理、ドライ洗浄の分野で広く利用されています。

接触角によるプラズマ洗浄効果の代用評価

プラズマ処理することで、表面の有機物が除去され水接触角が下がります。

プラズマ洗浄の原理

  • ①プラズマを発生させると同時に大量の活性酸素が生成される。
  • ②汚れ成分を二酸化炭素等にガス化して系外へ排出⇒表面洗浄
  • ③同時に表面に水酸基を導入し親水化(極性化)⇒密着性を向上

適応装置

大気圧リモートプラズマ装置 イメージ

大気圧リモートプラズマ装置

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