特徴・装置仕様
1小型装置
A4サイズ程度までの枚葉処理に対応

2様々な処理に対応
リモート処理、ダイレクト処理どちらも使用可能

3実験用途に特化
扱いやすい半自動タイプ

対応サイズ

~A4

Utility

電源、処理ガス(N2、CDA)、排気、冷却水

※A4以上のサイズは別途ご相談下さい

用途
使用目的
小片基板の濡れ性改善、密着性向上、表面改質
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