特徴・装置仕様 
1ダメージレス
低温処理&電界遮蔽構造で、熱及び電気ダメージ無し
2高い処理性能
高速(10m/min)処理で10°以下を達成
(LCD向けガラス基板の処理)
3豊富なラインナップ
160 ~ 3400mm巾まで対応
4実績多数
LCD工場を始め数多くの生産工程で採用

対応幅

160~3400mm

Utility

電源、処理ガス(N2、CDA)、排気、冷却水

用途
分 野 使用目的
LCD ガラス表面の濡れ性改善、wet洗浄効果の向上
タッチパネル、OLEDなど 導電フイルムの表面改質、貼り合わせ前処理
基本処理性能

ガラス基板の接触角データ ( 搬送速度依存性 )

【使用基板】 Bare Glass

大気圧プラズマ

EUV

搬送速度と基板温度変化の関係

【使用基板】 Bare Glass

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