大気圧プラズマ技術が、FPD製造工程に
新しいソリューションを提案します。
積水化学 大気圧プラズマとは
真空プロセスを必要としない常圧での処理のため、連続処理が可能でインライン化も容易
ガスを選ばず、プラズマを発生させることが可能
3種類のプラズマ発生方式により、様々な基材に対応可能
リモート方式プラズマを採用することにより、基材へ電気ダメージを与えずに表面改質処理が可能
積水大気圧プラズマの特徴
連続生産に有利
大気圧の利点を生かし、インラインプロセス(ライン組み込み型)の構築が容易
処理ガスの制限なし
HeやAr不要。ガス種により親水処理だけでなく撥水やエッチングも可能
幅広い用途に対応
3つの処理方式から最適な方式を提案(局所処理から3m超の幅広まで対応)
- ・リモート式
- ・ダイレクト式
- ・スポット式
プラズマ処理とは
プラズマ状態にした活性ガスを基材に作用させ
1．極表面の有機物汚染を除去し
2．表面に化学反応を起こし
濡れ性接着性を向上させる
大気圧プラズマ発生原理
独自のプラズマ発生技術により、常圧下において均一なグロー放電プラズマの発生が可能
一般的常圧放電
当社大気圧プラズマ
プラズマ処理方式
積水化学の大気圧プラズマ装置は「ダイレクト方式」
「リモート方式」「スポット方式」の3つの処理方式を採用することで、様々な素材や形状の対象物を処理することが可能です
| ダイレクト | リモート | スポット | |
|---|---|---|---|
| 処理イメージ |  |
 |
 |
| プラズマ照射方式 | 電極間（プラズマ空間）に基板を直接投入して照射 | スリットからプラズマ を噴き出して照射 |
局所的に プラズマを照射 |
| 特 徴 | 高速処理対応 | 電気ダメージレス | 超高密度プラズマによる 局所処理 |
ダイレクト
処理イメージ
プラズマ照射方式
電極間（プラズマ空間）に基板を直接投入して照射
特徴
高速処理対応
リモート
処理イメージ
プラズマ照射方式
スリットからプラズマを噴き出して照射
特徴
電気ダメージレス
スポット
処理イメージ
プラズマ照射方式
局所的にプラズマを照射
特徴
超高密度プラズマによる局所処理
積水の大気圧プラズマだからできること
ガスを選ばずグロー放電を発生させることができ、ガス種の選択で、種々の表面処理が可能です
1表面洗浄、有機物除去
プラズマにより発生した酸素ラジカル、
オゾンで基材表面の汚れ（有機物）を除去できます
オゾンで基材表面の汚れ（有機物）を除去できます
2表面改質(親水化、撥水化)
ガス種を変える事によって、
基材表面の性質(親水性/疎水性)を変えることができます
基材表面の性質(親水性/疎水性)を変えることができます
3エッチング
ガラス基板表面をエッチング（粗化）することができます
