真空プロセスを必要としない常圧での処理のため、連続処理が可能でインライン化も容易
ガスを選ばず、プラズマを発生させることが可能
3種類のプラズマ発生方式により、様々な基材に対応可能
リモート方式プラズマを採用することにより、基材へ電気ダメージを与えずに表面改質処理が可能
連続生産に有利
大気圧の利点を生かし、インラインプロセス(ライン組み込み型)の構築が容易
処理ガスの制限なし
HeやAr不要。ガス種により親水処理だけでなく撥水やエッチングも可能
幅広い用途に対応
3つの処理方式から最適な方式を提案(局所処理から3m超の幅広まで対応)
独自のプラズマ発生技術により、常圧下において均一なグロー放電プラズマの発生が可能
積水化学の大気圧プラズマ装置は「ダイレクト方式」
「リモート方式」「スポット方式」の3つの処理方式を採用することで、様々な素材や形状の対象物を処理することが可能です
ダイレクト | リモート | スポット | |
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処理イメージ | ![]() |
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プラズマ照射方式 | 電極間(プラズマ空間)に基板を直接投入して照射 | スリットからプラズマ を噴き出して照射 |
局所的に プラズマを照射 |
特 徴 | 高速処理対応 | 電気ダメージレス | 超高密度プラズマによる 局所処理 |
電極間(プラズマ空間)に基板を直接投入して照射
高速処理対応
スリットからプラズマを噴き出して照射
電気ダメージレス
局所的にプラズマを照射
超高密度プラズマによる局所処理
ガスを選ばずグロー放電を発生させることができ、ガス種の選択で、種々の表面処理が可能です