大気圧でのプラズマ処理～チャンバー不要でインライン化が容易

積水化学大気圧プラズマ

真空を必要としない常圧プロセスのため、連続処理が可能でインライン化も容易

ガスを選ばず、プラズマを発生させることが可能

3種類のプラズマ発生方式により、様々な基材に対応可能

リモート方式プラズマを採用することにより、基材へ電気ダメージを与えずに処理が可能

独自のプラズマ発生技術により、常圧下において均一なグロー放電プラズマの発生が可能

電極間（プラズマ空間）に基板を直接投入して照射

高速処理対応

スリットからプラズマを噴き出して照射

電気ダメージレス

局所的にプラズマを照射

超高密度プラズマによる局所処理

ガスを選ばずグロー放電を発生させることができ、ガス種の選択で、種々の表面処理が可能です

1表面洗浄、有機物除去
プラズマにより発生した酸素ラジカル、
オゾンで基材表面の汚れ（有機物）を除去できます

2表面改質(親水化、撥水化)

ガス種を変える事によって、
基材表面の性質を変えることができます

3エッチング
ガラス基板表面をエッチング（粗化）することができます