積水化学 大気圧プラズマ

真空を必要としない常圧プロセスのため、連続処理が可能でインライン化も容易

ガスを選ばず、プラズマを発生させることが可能

3種類のプラズマ発生方式により、様々な基材に対応可能

リモート方式プラズマを採用することにより、基材へ電気ダメージを与えずに処理が可能

大気圧プラズマ発生原理

独自のプラズマ発生技術により、常圧下において均一なグロー放電プラズマの発生が可能

一般的常圧放電

当社大気圧プラズマ

プラズマ処理方式

ダイレクト リモート スポット
処理イメージ
プラズマ照射方式 電極間(プラズマ空間)に基板を直接投入して照射 スリットからプラズマ
を噴き出して照射
局所的に
プラズマを照射
特 徴 高速処理対応 電気ダメージレス 超高密度プラズマによる
局所処理

ダイレクト

処理イメージ

プラズマ照射方式

電極間(プラズマ空間)に基板を直接投入して照射

特徴

高速処理対応

リモート

処理イメージ

プラズマ照射方式

スリットからプラズマを噴き出して照射

特徴

電気ダメージレス

スポット

処理イメージ

プラズマ照射方式

局所的にプラズマを照射

特徴

超高密度プラズマによる局所処理

積水の大気圧プラズマだからできること

ガスを選ばずグロー放電を発生させることができ、ガス種の選択で、種々の表面処理が可能です

1表面洗浄、有機物除去
プラズマにより発生した酸素ラジカル、
オゾンで基材表面の汚れ(有機物)を除去できます
2表面改質(親水化、撥水化)
ガス種を変える事によって、
基材表面の性質を変えることができます
3エッチング
ガラス基板表面をエッチング(粗化)することができます

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