展開例

基板表面をプラズマ処理により洗浄し、次工程の成膜性能や密着性を改善します

oled 工程図

: プラズマ装置適応工程

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OLED 工程図1

適応装置

大気圧リモートプラズマ装置 イメージ

大気圧リモートプラズマ装置

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